6月7日，日本特殊陶業(yè)（NGKNTK）宣布，公司決定在宮城縣富宮市高屋敷西區(qū)建設(shè)新工廠以滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)需求，生產(chǎn)靜電吸盤、結(jié)構(gòu)陶瓷制品，預(yù)計(jì)將于2025年4月投產(chǎn)。
日本特殊陶業(yè)由NGK和NTK組成，NTK ceratec主要負(fù)責(zé)向傳感器、電子元件、刀具、生物陶瓷、醫(yī)療應(yīng)用、環(huán)境能源等廣泛領(lǐng)域提供技術(shù)陶瓷產(chǎn)品。據(jù)公告，由于社會(huì)和經(jīng)濟(jì)數(shù)字化的快速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體的需求正在增加，建設(shè)新工廠可以優(yōu)化現(xiàn)有生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)高效率、高品質(zhì)制造。
現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝中晶圓的加工過程有著多道工序，如等離子體浸沒離子摻雜、離子注入、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積等，每一道工序都需要保證晶圓的平穩(wěn)固定。通過靜電吸附作用來固定晶圓，其優(yōu)點(diǎn)在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會(huì)發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤對(duì)晶圓污染小，對(duì)晶圓無傷，可以應(yīng)用于高真空環(huán)境中。靜電吸盤通常采用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷及藍(lán)寶石，目前芯片大廠所用的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的氮化鋁靜電吸盤，大部分來自于NTK ceratec。
